张远方的办公室,很快就被安置在了实验大楼的顶层。靠窗的位置,摆着一张长长的工作台,上面堆满了碳化硅外延工艺的实验数据和参数图谱,旁边的电脑屏幕上,跳动着密密麻麻的曲线。
自从决定留下,张远方就一头扎进了实验室。每天天不亮就到岗,深夜才离开,连吃饭都是在实验室里随便对付几口。技术团队的成员们,也被他这股劲头感染,一个个铆足了劲,跟着他连轴转。
眼下摆在他们面前的,是一道绕不开的坎——外延层平整度始终达不到量产标准。
“张博士,你看这组数据。”技术负责人拿着一份刚出炉的报告,快步走到张远方身边,指着上面的曲线,“我们调整了三次生长温度,平整度还是差了0.2微米。这个误差,在实验室里能接受,但放到生产线,就是致命的缺陷。”
张远方皱着眉,接过报告,目光死死地盯着那些起伏的曲线。他手指在纸上快速划过,嘴里低声念叨着:“温度梯度、气体流量、衬底偏压……问题到底出在哪?”
他转身走到外延生长炉旁,仔细检查着每一个部件的运行状态。从气体输送管道到温度传感器,从衬底承载台到真空系统,一寸一寸地排查,生怕漏掉任何一个细节。
“把上周的实验记录调出来,我要对比一下。”张远方头也不抬地吩咐道。
很快,厚厚的一摞记录被搬了过来。张远方坐在工作台前,逐页翻看,红笔在纸上圈圈点点,不时在旁边写下几行批注。窗外的天色,从亮到暗,又从暗到亮,他的眼睛里布满了血丝,却丝毫没有倦意。
黄江北每天都会抽空来实验室转一圈,有时只是站在门口,看着张远方忙碌的身影,悄悄放下一份热腾腾的宵夜,又悄悄离开。他知道,科研攻关急不得,能做的,就是给他们创造最好的条件,解决一切后顾之忧。
这天下午,黄江北又一次来到实验室,刚进门,就被张远方一把拉住。
“黄市长,我找到问题的症结了!”张远方的眼睛里闪烁着兴奋的光芒,声音因为激动而微微颤抖。
黄江北心里一紧,连忙问道:“快说说,是什么问题?”
“是衬底的预处理!”张远方指着实验记录,“我们之前的预处理流程,只做了清洗和烘干,忽略了表面的应力释放。碳化硅衬底在切割过程中,会产生微小的应力,如果不提前释放,在生长外延层的时候,应力就会导致晶格畸变,平整度自然就上不去了!”
他拿起一支笔,在纸上画出一个简易的流程图:“我建议,在预处理阶段,增加一道高温退火工序。温度控制在1200摄氏度,保温两小时,让衬底表面的应力充分释放。然后再进行清洗,这样就能从源头上解决问题!”
技术负责人凑过来看了一眼,恍然大悟:“对啊!我们怎么没想到这一点!张博士,你这一下就点醒了我们!”
“事不宜迟,立刻调整实验方案,今晚就做实验!”张远方大手一挥,语气斩钉截铁。
夜幕降临,实验大楼里依旧灯火通明。